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晶圆外观检查中如何判断缺陷的新旧程度？

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无锡奥考斯半导体设备有限公司2026-05-28

新缺陷边缘清晰、颜色鲜明，旧缺陷可能有磨损、变色或被污染迹象。

本回答由 无锡奥考斯半导体设备有限公司 提供

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