半导体退火炉用的微量氧分析仪，低检测限能到多少ppb？

上海高传电子科技有限公司2026-06-21

高、端激光微量氧分析仪低检测限可达0.1ppb，氧化锆原理通常为1-10ppb，满足半导体先进制程需求。

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